{
    "id": "ted:631404-2026",
    "url": "https://outfortender.com/tender/ted-631404-2026",
    "official_notice": "https://ted.europa.eu/en/notice/631404-2026/html",
    "title": "FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)",
    "titles": {
        "de": "FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)"
    },
    "description": "Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.",
    "description_language": "de",
    "buyer": "Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik",
    "country": "DE",
    "country_name": "Germany",
    "category": "Industrial machinery",
    "cpv": "42990000",
    "procedure": "neg-w-call",
    "published": "2026-09-14",
    "deadline": "2026-10-13T23:59:00+02:00",
    "status": "open",
    "source": "ted"
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